北京
国家知识产权局信息显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司取得一项名为“导流环组件及等离子刻蚀设备”的专利，授权公告号CN223743594U，申请日期为2025年1月。
专利摘要显示，本申请提供了一种导流环组件及晶圆等离子刻蚀装置，其中，导流环组件包括导流环和调节组件，所述导流环上设有第一导流孔，调节组件转动连接所述导流环轴向的一侧，所述调节组件上设有第二导流孔和遮挡部，所述第二导流孔和所述遮挡部沿所述调节组件的转动方向间隔，通过调节调节组件相对导流环的位置，以调节第一导流孔的孔径，进而实现对刻蚀腔内流道孔径的调节，在保证对晶圆的刻蚀精度的同时，无需开腔对导流板进行更换，从而保证对晶圆等离子刻蚀设备对晶圆的刻蚀效率。
天眼查资料显示，芯恩（青岛）集成电路有限公司，成立于2018年，位于青岛市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本1006720.789212万人民币。通过天眼查大数据分析，芯恩（青岛）集成电路有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目190次，财产线索方面有商标信息15条，专利信息924条，此外企业还拥有行政许可56个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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