国家知识产权局信息显示,常州维普半导体设备有限公司取得一项名为“可互换晶圆吸盘安装装置”的专利,授权公告号CN223743632U,申请日期为2025年1月。
专利摘要显示,本实用新型公开了一种可互换晶圆吸盘安装装置,用于安装在机台上,可互换晶圆吸盘安装装置包括:底座组件、至少两个自复位按压触点组件、晶圆吸盘和控制识别组件,所述底座组件上设有安装平台,所述底座组件可拆卸地安装在所述机台上;所述自复位按压触点组件活动安装在所述底座组件上,所述自复位按压触点组件包括按压端和一对电极触点,所述自复位按压触点组件适于在所述按压端被按压时导通或断开相对应的一对电极触点以产生相对应的触点状态信号;所述晶圆吸盘可拆卸地安装在所述底座组件的安装平台上。本实用新型能够方便快捷地实现晶圆吸盘的安装与拆卸,同时支持多种类型晶圆吸盘的互换,提升了机台的适应性与使用效率。
天眼查资料显示,常州维普半导体设备有限公司,成立于2019年,位于常州市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本346.6326万人民币。通过天眼查大数据分析,常州维普半导体设备有限公司共对外投资了2家企业,专利信息29条,此外企业还拥有行政许可8个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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