北京
国家知识产权局信息显示，滁州华瑞微电子科技有限公司申请一项名为“一种晶圆的检测治具及检测装置”的专利，公开号CN121215543A，申请日期为2025年9月。
专利摘要显示，本发明公开了一种晶圆的检测治具及检测装置，涉及半导体制造技术领域，包括基座，还包括负压吸附腔，其设于基座内部，所述基座承载面上环形分布有若干个与负压吸附腔相连通的吸附孔，防偏保护机构，其弹性安装于基座边缘，用于在晶圆装卸时提供保护，限位检测组件，其滑动安装于基座边缘，且与防偏保护机构相互错开，传动调节件，其转动套接于基座上，且所述防偏保护机构和限位检测组件分别与传动调节件相配合。本发明通过设置由负压驱动的传动调节件，当所述负压吸附腔抽气形成负压后，该负压环境不仅用于吸附固定晶圆，同时通过带动传动调节件将负压产生的力进行转换，传动调节件驱动原本凸出于基座承载面的防偏保护机构克服弹性力下降。
天眼查资料显示，滁州华瑞微电子科技有限公司，成立于2020年，位于滁州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本19974.1663万人民币。通过天眼查大数据分析，滁州华瑞微电子科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目28次，财产线索方面有商标信息5条，专利信息41条，此外企业还拥有行政许可72个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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