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国际首次,长三角联合攻关突破8英寸VB法氧化镓单晶制备技术

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IT之家 12 月 28 日消息,据“上海科技”公众号,12 月 27 日,在上海市科委第四代半导体战略前沿专项支持下,中国科学院上海光机所(IT之家注:以下简称“上海光机所”)联合杭州富加镓业科技有限公司(以下简称“富加镓业”),在国际上首次采用垂直布里奇曼法(VB 法)制备出 8 英寸氧化镓晶体。

氧化镓是第四代半导体领域代表性材料,因禁带宽度大、击穿场强高,在超高压功率器件领域具有重要应用价值。

上海光机所作为国内较早从事氧化镓晶体研究的单位,在 VB 法方面,联合富加镓业大力发展提升关键装备制造、高精度模拟仿真、确定性热场设计三大核心技术。2024 年 7 月在国内首次实现 3 英寸晶体制备,2024 年 12 月成功制备 4 英寸晶体,2025 年 9 月在国内首次实现 6 英寸晶体制备,2025 年 12 月刷新国际 VB 法制备氧化镓晶体的最大尺寸纪录

与其他方法相比,VB 法在制备氧化镓晶体方面具有多项显著优势,是实现大规模产业化的理想路径:生长过程无需使用铱金,大大降低生长成本;生长过程温度场均匀、温度梯度小,更易实现大尺寸、高质量氧化镓晶体的生长;可生长柱状晶体,有效提升材料制备效率;生长过程稳定,更适合自动、规模化生产。

下一步,上海光机所、富加镓业将会同下游用户加快开展器件端对材料端的应用验证,持续迭代氧化镓材料及器件性能,全力推动氧化镓产业化应用。

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