国家知识产权局信息显示,启明光子(北京)科技有限公司申请一项名为“一种铌酸锂氮化硅集成器件及其制备方法”的专利,公开号CN121209004A,申请日期为2025年10月。
专利摘要显示,本发明公开的一种铌酸锂氮化硅集成器件的制备方法,包括如下步骤:S1、制备铌酸锂调制器,所述铌酸锂调制器中包括铌酸锂波导和调制电极、热电极、铌酸锂键合电极;S2、制备氮化硅芯片,所述氮化硅芯片中包括氮化硅波导,在所述氮化硅芯片上完成电极键合区域开窗并制作氮化硅键合电极;S3、将所述铌酸锂调制器倒装装入所述氮化硅芯片的电极键合区域开窗结构内,键合后铌酸锂的电极信号通过氮化硅金属键合层导出;S4、低温键合所述铌酸锂调制器与所述氮化硅芯片。本发明通过在氮化硅芯片上刻蚀开窗后再倒装装入铌酸锂调制器的工艺可实现铌酸锂调制器和氮化硅芯片的高效集成,并获得较好的光学耦合性能及可靠的电气连接。
天眼查资料显示,启明光子(北京)科技有限公司,成立于2024年,位于北京市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本123.6364万人民币。通过天眼查大数据分析,启明光子(北京)科技有限公司共对外投资了2家企业,此外企业还拥有行政许可1个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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