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日经亚洲:中国可能成为荷兰和日本后第三个独立制造光刻机的国家

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全球半导体设备市场正发生变化,光刻机这种芯片生产的核心工具,一直是少数国家掌握。中国芯片产业过去依赖进口,但外部压力让本土企业加速研发。

这基于中国在关键技术上的实际进展,比如上海微电子装备在浸没式设备方面的积累,以及初创公司在化合物半导体领域的应用。



中国企业选择实用路线,一边追赶硅基先进工艺,一边开发针对碳化硅和氮化镓的专用机型。

2025年12月前,上海芯上微装科技交付了AST6200型步进机,适用于350纳米节点,套刻精度达到正面80纳米。

这设备国产部件占比高,满足5G基站和电动车芯片需求。企业通过数据分析提升良率,软件自研避免外部依赖。



荷兰阿斯麦主导极紫外技术,日本企业在深紫外领域有优势。

中国差距大,尤其在7纳米以下,但成熟制程市场广阔。中国策略是先稳住基本盘,积累经验。

日经亚洲提到,中国从拍卖旧设备中学习,修复过程获得光学和机械知识。团队整合资源,逐步缩小代差。



中国团队用传感器网络监测设备参数,建立数字模型。供应链数据帮助预测风险,快速调整方案。这方法缩短调试时间,降低成本。

相比传统物理竞赛,这种数据驱动方式更适合本土条件。企业还注重软件自主,从底层驱动到工艺管理全自产。

全球格局下,中国进展引关注。2025年,阿斯麦销售部分来自中国,但本土设备开始替代。上海微电子在封装领域份额超40%,证明细分竞争力。



中国从2014年90纳米机起步,到2025年28纳米交付,步步推进。化合物领域优势明显,设备兼容多种材料,维护成本低。

2025年,日本出口下降,尼康股价波动。荷兰调整政策,继续中低端销售。中国企业崛起,受人才回流支持。

中国投资转向设备基金,优先本土化发展。避免政治解读,专注技术层面,产业从硬件制造向生态转变。



中国光刻机努力标志韧性,外部封锁反而激发创新,企业构建闭环。全球市场规模接近400亿美元,中国抓住机会。更多公司涌现,形成集团优势。

企业定位差异化,避开高端垄断,切入实用领域。AST6200交付后,客户反馈积极,销量上扬。软件更新频繁,提升竞争力。供应链整合包括材料和测试,形成防线。

研发范式变化明显,高密度传感器部署,分析运行数据预测故障。团队通过数字孪生优化工序。2025年进展显示,从无到有阶段结束,向优化迈进。



全球博弈持续。中国份额渐增,日本媒体反思自家损失。荷兰销售稳定,中国本土率高。智库报告强调,自主能力提升话语权。

中国策略务实。双轨路径平衡追赶与开拓。化合物专用设备领先,硅基逐步跟上。企业积累资金,反哺先进项目。

技术沉淀关键。基础科学投入大,精密制造积累深。日经亚洲展望,中国参与或重塑规则。产业生态构建中。软硬结合自主化,标志成熟。2025年交付频传,增强信心。



参考资料:

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