天津
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（全球TMT2025年12月10日讯）Imec首次成功在300毫米晶圆上采用EUV光刻技术制造晶圆级固态纳米孔。纳米孔技术被誉为基因组学和蛋白质组学的变革者，但迄今为止，固态纳米孔因存在变异性和集成难题，始终未能实现大规模生产。这项创新将纳米孔技术从实验室规模的概念转化为可扩展的平台，适用于生物传感、基因组学和蛋白质组学领域。
其采用EUV光刻技术在300毫米晶圆上实现了晶圆级制造，制备出尺寸小至约10纳米的纳米孔，且在整个晶圆上具有高度均匀性。 该制造工艺有潜力实现小于5纳米孔径，随着工艺集成技术的进一步改进，有望取得更大突破。
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