国家知识产权局信息显示,日月新先进技术研究(昆山)有限公司申请一项名为“一种晶圆级封装结构及制作方法”的专利,公开号CN121076010A,申请日期为2025年8月。专利摘要显示,本发明公开了一种晶圆级封装结构及制作方法,包括步骤一:晶圆来料:准备待加工晶圆;步骤二:单面涂布工艺:在所述晶圆上方涂布光阻层,形成光阻层一;步骤三:半色调掩膜光刻工艺:使用光罩对在光阻层一进行曝光,所述光罩包括A区、B区和C区;所述B区的光罩为半透光设计;步骤四:显影成型:通过显影液去除未曝光固化的部分光阻层一;步骤五:单层固化:固化显影成型后的光阻层一。本发明属于半导体封装领域,具体是指一种晶圆级封装结构及制作方法;本发明通过利用半色调掩膜,即可使光阻层产生阶梯形状,后续RDL制程即可形成阶梯式RDL布线结构,植球后形成阶梯状金属间化合物,增强温度循环/跌落可靠性测试强度。
天眼查资料显示,日月新先进技术研究(昆山)有限公司,成立于2024年,位于苏州市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本50万美元。通过天眼查大数据分析,日月新先进技术研究(昆山)有限公司参与招投标项目3次,专利信息15条,此外企业还拥有行政许可6个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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