北京
国家知识产权局信息显示，合肥博雷电气有限公司申请一项名为“一种高均匀性的微波等离子体反应腔及其应用方法”的专利，公开号CN121054459A，申请日期为2024年5月。专利摘要显示，一种高均匀性的微波等离子体反应腔及其应用方法，所述反应腔的顶部开设有9个沿对角线等距均匀排布的观察窗。不同于传统的3×3阵列均匀排布，对角线排布方法可以探测到从中心到边缘的整个区域的等离子体光强，可以更好的评估微波等离子体的均匀性。在每一个观察窗处安装光强传感器TSL256x采集光强信号并使用STM32作为上位机进行实时监控。每一个观察窗均设有类似于三销钉调谐结构的腔体调谐模块，所述腔体调谐模块由四根细长的销钉围绕观察窗均匀排布。通过调整四根销钉伸入腔体的长度可以实时调节该区域的局部电场分布。
天眼查资料显示，合肥博雷电气有限公司，成立于2005年，位于合肥市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本922.2249万人民币。通过天眼查大数据分析，合肥博雷电气有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目76次，财产线索方面有商标信息8条，专利信息164条，此外企业还拥有行政许可8个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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