国家知识产权局信息显示,浙江芯动科技有限公司申请一项名为“一种MEMS晶圆腐蚀厚度监控及腐蚀工艺评估方法”的专利,公开号CN121020502A,申请日期为2025年8月。
专利摘要显示,一种MEMS晶圆腐蚀厚度监控及腐蚀工艺评估方法,包括在硅晶圆图形面预设区域设计多个监控点,监控点为具有不同形状和不同深度的结构,采用多深度光刻工艺在光刻胶上形成不同高度的结构,并通过一次干法刻蚀将该结构整体转移至硅晶圆表面,形成多深度监控点,在晶圆图形面沉积耐腐蚀保护层,从晶圆背面进行湿法腐蚀,使用化学腐蚀液,利用光学检测系统识别监控点的透光状态,并量化透光面积比例;根据透光顺序与时间,计算晶圆各区域的腐蚀深度及均匀性,评估工艺结果与晶圆质量,本发明能够精确控制湿法腐蚀深度、大幅提升晶圆内腐蚀均匀性、简化监控结构制备工艺。
天眼查资料显示,浙江芯动科技有限公司,成立于2017年,位于嘉兴市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本9900万人民币。通过天眼查大数据分析,浙江芯动科技有限公司参与招投标项目26次,财产线索方面有商标信息1条,专利信息23条,此外企业还拥有行政许可1个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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