北京
国家知识产权局信息显示，浙江芯动科技有限公司申请一项名为“一种MEMS晶圆腐蚀厚度监控及腐蚀工艺评估方法”的专利，公开号CN121020502A，申请日期为2025年8月。
专利摘要显示，一种MEMS晶圆腐蚀厚度监控及腐蚀工艺评估方法,包括在硅晶圆图形面预设区域设计多个监控点，监控点为具有不同形状和不同深度的结构，采用多深度光刻工艺在光刻胶上形成不同高度的结构，并通过一次干法刻蚀将该结构整体转移至硅晶圆表面，形成多深度监控点，在晶圆图形面沉积耐腐蚀保护层,从晶圆背面进行湿法腐蚀，使用化学腐蚀液，利用光学检测系统识别监控点的透光状态，并量化透光面积比例；根据透光顺序与时间，计算晶圆各区域的腐蚀深度及均匀性，评估工艺结果与晶圆质量,本发明能够精确控制湿法腐蚀深度、大幅提升晶圆内腐蚀均匀性、简化监控结构制备工艺。
天眼查资料显示，浙江芯动科技有限公司，成立于2017年，位于嘉兴市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本9900万人民币。通过天眼查大数据分析，浙江芯动科技有限公司参与招投标项目26次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息23条，此外企业还拥有行政许可1个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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