申英男：助力芯片制造的关键突破，他的科研方向锚定产业痛点

企创进企服务行动系列报道

在芯片制程节点在纳米尺度不断延伸的今天，“洁净”与“精准”是影响芯片制造精度与良率的关键命题。有一位学者深耕“光-机-电-液”一体化，聚焦微纳尺度流体控制技术，捕捉极微污染物的踪迹，为高端集成电路（IC）装备自主化提供多项关键基础技术支撑——他就是浙江大学“百人计划”研究员、博士生导师申英男，一位扎根半导体装备领域，以基础研究创新与关键技术开发回应国家战略需求的青年科学家。

申英男（左一）陪同美国四院院士J.A.Rogers参观超洁净流控实验室

身为“流体人”，锚定IC产业痛点

“流体是我们的‘老本行’；IC制造的上百道工艺以及光刻、湿法刻蚀等核心机台均涉及到超洁净高精密流体控制问题。”申英男的科研选择，从一开始就瞄准了流体相关的半导体装备研发“卡脖子”环节。

他聚焦的高精密超洁净流体控制、极微污染物检测与控制领域，是高端集成电路制造的关键技术需求。半导体液体工艺介质中，十亿分之一含量的金属污染物、小至50纳米的颗粒污染物就可能让芯片性能劣化甚至导致“废片”，而他的工作正是为这些“看不见、摸不着”的隐患打造一套由“精准捕网”、测量手段与预防策略所构成的体系。这种“以产业痛点为科研起点”的导向，让他的研究始终扎根实际，与其所在“启尔”团队一道，成为半导体装备领域不可或缺的创新力量。

从浙大到普渡、从美国回国效力的双向淬炼

申英男的学术之路，体现了本土深耕与国际前沿研究的融合。他在浙江大学机械电子工程专业完成本博完整培养，并基于本土半导体装备产业现状与发展趋势，系统掌握机-电-流体一体化的核心知识体系，这份扎实的“浙大底色”让他始终锚定国家战略需求。

博士毕业后，他赴美国普渡大学开展博士后研究，并于2023年晋升为普渡大学机械工程学院研究员（Lead Research Scholar）。海外研学期间，他持续深挖微纳尺度下的流体控制与颗粒物控制等相关基础研究。2024年，他回归求是园，加盟机械工程学院、流体动力基础件与机电系统全国重点实验室，持续身体力行“基础研究-技术创新-产业应用”的闭环探索。

从顶刊论文到产业实践，把成果做到实处

在半导体装备相关流体检测与控制技术领域的多年深耕，让申英男的研究同时收获了学界与业界的认可。他在Physical Review Letters等发表论文20余篇，基础研究成果曾获美国物理学会亮点论文、英国皇家物理学会《Physics World》、美国科学促进会（AAAS）旗下媒体报道等。

技术创新方面，他授权/公开发明专利20余项，含美国专利1项。在中国机械工程学会半导体装备分会成立大会的委员特邀报告、我国半导体装备龙头企业之一——北方华创“屏芯而论”CTO系列沙龙等场合，他所分享的半导体液体工艺介质污染物测控技术研究进展、难点痛点与未来趋势，成为半导体装备及其核心零部件领域的学界与业界所共同关注的重要议题之一。

紧贴半导体产业需求，积极搭建产学研桥梁

“半导体核心装备与关键技术的自主可控与自我发展，不但需要基础研究的长期耕耘，更需要面向产业需求的不断聚焦。”作为国家级青年人才计划入选者，申英男始终坚持将国家集成电路产业的战略需求作为个人学术研究方向的指引与依归。

目前，他担任DLIS教育部工程研究中心副主任，主持国家自然科学基金委原创探索计划项目等多项国家级项目，深度参与3项国家科技重大专项，将研究方向与集成电路装备自主化的迫切需求紧密对接。他还积极搭建学界与产业界沟通桥梁，曾为新生代浙商解读关键技术突破与产业应用前景，让实验室的基础研究成果真正服务于相关制造业高质量发展，践行“把论文写在祖国大地上”的科研理念。

依托“启尔”团队，培养半导体装备研发的后备力量

作为博士生导师，他将国际前沿技术与产业实际需求融入研究生培养过程，引导学生“聚焦真问题、练就硬本领”。回国任职两年来，依托流体动力基础件与机电系统全国重点实验室，在以付新教授为带头人的“启尔”团队支持下，他带领一支由十余名研究生、多名工程师组成的研发队伍，形成了“基础研究—技术攻关—产业验证”的闭环科研模式，为集成电路装备领域培养兼具理论功底与实践能力的后备力量。因此，他作为主要完成人之一获得了2025年中国机械行业产教融合教育教学创新大赛一等奖。

从浙大校园到普渡实验室，再回到求是园继续服务于半导体装备国家战略需求，申英男始终铭记：为我国集成电路产业的发展贡献“流体人”的力量。这位心系国之重器、扎根产业需求、探索学术前沿的青年学者，正以不懈努力为我国集成电路装备高端化、自主化发展贡献自己的力量。

来源：省青年高层次人才协会

责编：叶　扬

美编：郑娜莉

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