北京
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国家知识产权局信息显示，应用材料股份有限公司申请一项名为“用于质量分析离子束的混合装置、系统和技术”的专利，公开号CN121039780A，申请日期为2024年3月。专利摘要显示，一种装置，包括电动质量分析(EDMA)总成。EDMA总成可包括：第一上部电极，设置于束轴线上方；以及第一下部电极，设置于束轴线下方且与第一上部电极相对，EDMA总成被布置成接收处于第一频率的第一RF电压信号。装置可包括设置于EDMA总成的下游的偏转总成，偏转总成包括沿着束轴线设置的阻挡件。装置可包括设置于偏转总成的下游的能量分散减小器(ESR)，能量分散减小器被布置成接收处于第二频率的第二RF电压信号，第二频率是第一频率的两倍。ESR可包括：上部ESR电极，设置于束轴线上方；以及下部ESR电极，设置于束轴线下方。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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