技术破局+国产领航 半导体核心零部件国产龙头恒运昌冲刺科创板

来源：金桔网

上交所上市审核委员会定于2025年11月14日召开今年第54次上市审核委员会审议会议，届时将审议深圳市恒运昌真空技术股份有限公司（以下简称“恒运昌”）的首发事项，恒运昌同时成为2025年第二批被抽中现场检查企业中，首家上会企业。

在半导体产业链自主可控的国家战略背景下，等离子体射频电源作为薄膜沉积、刻蚀等核心设备的“心脏部件”，长期被海外巨头垄断，国产化率不足12%，成为制约国内半导体产业发展的关键瓶颈。恒运昌深耕该领域十余年，以技术攻坚打破国际垄断，以市场突围确立国产龙头地位，其在技术、市场、财务及战略布局上的多重亮点，不仅彰显了企业自身的硬实力，更折射出国内高端制造自主化的坚定步伐。

技术攻坚：7-14纳米制程实现国际对标，填补国内空白

作为国家高新技术企业，恒运昌的核心竞争力源于十余年深耕形成的自主技术体系。公司构建了3大基石技术及8大产品化支撑技术的完整架构，涵盖信号采样及处理、相位锁定、同步控制、快速调频、脉冲控制等等离子体射频电源系统运行中的关键技术。核心技术已对应形成共计97项自主研发的授权发明专利，研发人员占比达41.64%，技术储备深度领先国内同行。

在产品性能与制程适配能力上，公司实现了从“跟跑”到“并跑”的跨越。第二代 Bestda系列产品已稳定支撑28纳米制程，第三代Aspen系列更突破至7-14纳米先进制程水平，成为国内极少数产品性能、功能指标与MKS、AE等国际巨头同步的企业。这一突破直接填补了国内半导体级等离子体射频电源系统的量产空白，破解了长期以来高端市场被海外品牌垄断的难题。

更具产业价值的是，公司产品精准解决了国际巨头的行业痛点：缩短海外厂商的交付周期，提升定制化响应速度，依托自主技术实现本土故障维修响应，精准适配国内晶圆厂快速扩产与工艺迭代的迫切需求。

市场地位：国产龙头实至名归，头部客户构建护城河

在国产化率不足12%的行业格局中，恒运昌已确立国产龙头地位。据弗若斯特沙利文统计，2024年中国大陆半导体领域等离子体射频电源系统市场规模达65.6亿元，而恒运昌在国产厂商中市场份额位列第一，是国内首家实现半导体先进制程射频电源量产且出货规模突破亿元的企业。

客户结构的“含金量”更凸显其行业认可度。公司已批量供货拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米、盛美上海等国内头部半导体设备商，并配套中芯国际等国内头部晶圆厂供应链，成为薄膜沉积、刻蚀等关键环节设备商的战略级供应商。这种设备商及晶圆厂的双重验证，形成了难以复制的市场护城河，为后续国产替代份额提升奠定基础。

财务表现：高增长与高盈利双轮驱动，财务结构稳健

报告期内，恒运昌呈现出“规模与盈利同步跃升”的高质量成长态势，财务数据可圈可点。

2022-2024年，其营业收入从1.58亿元增长至5.41亿元，三年复合增长率达84.91%；扣除非经常性损益后归属于母公司股东的净利润从1,961.17万元增至1.29亿元，盈利能力持续提升，三年复合增长率为156.44%。

财务稳健性同样值得关注，公司报告期内业务规模高速增长，盈利水平显著提升，且发展前景获得外部投资者认可而取得股权融资资金，整体负债结构健康，偿债能力强。报告期各期末，流动比率维持在 4.72-8.12倍，速动比率在3.44-7.03倍区间，资产负债率从 28.86%降至15.78%，三项指标均显著优于同行业可比公司平均水平，抗风险能力突出。

募投战略：募资精准布局，破解瓶颈打开增长空间

本次拟募投项目，构成了恒运昌未来的战略发展蓝图，招股书披露的四大投向精准对应当前发展痛点与未来增长需求。

“沈阳半导体射频电源产业化项目”针对性解决产能超负荷问题，报告期内公司产能利用率最近三年及一期均超100%，现有产能难以满足公司及行业快速发展的需求。该项目落地沈阳，依托现有技术设北方子公司，将提升半导体级等离子体射频电源系统的产能，拓展华北、东北业务服务范围，深化区域客户覆盖。

“深圳半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目”及“研发与前沿技术创新中心项目”依托现有产品技术丰富和拓展低频大功率电源等产品线，增加公司研发产品储备，拓展光伏、显示面板、精密光学等跨领域客户，同步升级现有产品的频率与功率覆盖。

营销及技术支持中心项目将在长三角、珠三角等关键区域设点，直接对接终端晶圆厂。既实时获取技术反馈、提供定制化服务，又第一时间掌握先进制程对核心零部件的最新需求，进而提升生产效率与产品市场适应性，强化品牌影响力，巩固并扩大市场份额。

恒运昌的科创板冲刺，是中国半导体核心零部件国产化进程的生动缩影。从行业机遇来看，在国产化率不足12%的市场中，公司作为国产龙头有望持续承接进口替代红利，深度契合国家产业链供应链安全战略；从企业自身来看，产能扩张与跨领域拓展将有效破解当前瓶颈，先进制程的持续攻关则为长期增长注入动力。尽管仍面临国际巨头竞争、客户集中等挑战，但凭借扎实的技术积累、优质的客户资源与规范的治理结构，恒运昌有望在未来进一步释放潜力，成为半导体核心零部件领域的国产标杆企业。