新天工开物：三项科学仪器创新成果亮相

来源：环球网

【环球网科技综合报道】10月28日，在“新天工开物——科技成就发布会”科学仪器专场，聚焦我国科学仪器领域自主创新成就，集中发布了由中国仪器仪表学会推荐的太空生命科学仪器、无液氦亚3K低温扫描探针显微镜、芯片陶瓷封装基板视觉检测技术三项科学仪器领域的创新科技成果。

中国科学院院士、发展中国家科学院院士高鸿钧表示：“我国的科学仪器，从零基础到跟踪模仿，到现在部分高端仪器并跑的水平，经历了非常复杂艰难的历程。近年来我国与国际顶尖水平差距也越来越小，追赶的速度非常令人鼓舞。”

太空生命科学仪器：打造空间生命研究的“中国平台”​​

太空生命科学仪器是支撑我国空间站生命实验的核心装备。中国科学院上海技术物理研究所发布的“太空生命科学仪器”，构建了以“密闭生保支持+AI驱动原位观测+自动化精准操控”为核心技术链的高功能密度集成一体化实验平台，实现并推动了空间特殊环境和航天器严苛工程约束条件下，空间生命科学前沿探索和系统研究的发展。支撑了我国迄今80%以上的空间生命科学任务。

中国科学院院士、中国医学科学院学术咨询委员会学部委员赵国屏认为，该仪器设备为发现生命科学新现象、获得生命规律新认知、发展新型生物技术等研究提供了技术途径和解决方案，填补了国内空间生命科学研究实验系统的空白。

中国科学院上海技术物理研究所二级研究员、博士生导师张涛作为发布人，分享了团队通过攻克太空细胞培养、构建密闭水生生态系统的案例，展示了该项目在生物再生生命保障、长期生态稳定性控制、微重力-亚磁复合环境构建、多模态自主显微成像集成等系统性技术创新。

无液氦亚3K低温扫描探针显微镜：创新高端科研仪器的“中国方案”​

扫描探针显微镜是纳米科学研究的重要工具，是典型高端科学仪器，在物理、材料、化学、量子科技等领域都有着重要的应用。然而，我国高端扫描探针显微镜系统长期依赖进口。中国科学院物理研究所发布的“无液氦亚3K低温扫描探针显微镜”，采用原创远端液化制冷方式，实现了无需消耗液氦，仅使用少量氦气即可长时间稳定维持3K以下的低温环境，主要性能指标优于国内外同类型设备，达到国际领先水平。

高鸿钧院士表示：“这一突破显著提升了我国在低温扫描探针领域的技术水平，推动了我国高端科学仪器产业的创新发展，为更多关键设备的自主创新探索出了一条切实可行的路径。”

目前，该项成果已成功实现产业化，在国内众多高校得到了推广和应用，已产出多项前沿成果。据中国科学院物理研究所纳米物理与器件实验室副主任、博士生导师郇庆介绍，氦是不可再生资源，无液氦制冷技术已成为未来发展的重要方向，然而，扫描探针显微系统（SPM），因其对震动水平的严苛要求，使得无液氦闭循环制冷技术在该领域的应用仍面临诸多挑战。研发团队另辟蹊径地提出了“分离式”远端制冷方案，配合多项前沿技术手段，通过坚持不懈的自主科研攻关，实现了该高端科研仪器创新的“中国方案”，为我国相关前沿应用领域提供了自主可控的尖端研究工具。

芯片陶瓷封装基板视觉检测技术：赋能先进封装缺陷检测的“火眼金睛”

陶瓷封装基板是为芯片提供物理支撑和电气连接的核心部件，不仅能够承载、保护芯片，为芯片散热、供能，还是与其他电子器件连接的通道。受限于缺陷样本少、缺陷种类复杂，如何在尺寸、外观及形态变化多样的陶瓷封装基板上，快速、精准地检测到微米级甚至百纳米级的缺陷，对现有算法的精度、泛化性和通用性提出了巨大挑战。东北大学团队发布的“芯片陶瓷封装基板视觉检测技术”，结合人工智能、计算机视觉、工业软件、智能制造等前沿科技，实现了对微纳米级缺陷的智能识别与精准分类。

中国工程院院士、机器人与智能系统全国重点实验室主任于海斌评价称，该技术“填补了国内陶瓷封装基板领域的行业空白。该系列检测装备和智能制造系统的成功研制和应用部署，显著提高了芯片陶瓷封装基板制造的良品率和智能化水平，有效提高了我国集成电路先进封装产业的高质量发展。”

东北大学信息化建设与网络安全办公室主任、软件学院教授于瑞云在分享该项目产业化进展时强调，团队通过构建十万级样本数据集，成功研发了发“青阙”——工业产品表面缺陷检测大模型与“玉瑕”——缺陷样本生成大模型，在智能缺陷检测和数据生成方面取得了全面突破。此外，团队自主设计研制了芯片陶瓷封装全系列关键工艺缺陷检测设备与生产管控系统。目前，相关成果已在国内多家头部企业成功应用部署，显著提升了良品率与产线智能化水平。

此外，现场还举办了国家科技传播中心科技成就展数字展品库入藏仪式。（青山）