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高精度PA-300低相位差分布测试仪是日本Photonic lattice公司打造的双折射/应力测量仪，其基于偏振光原理进行工作，具有操作简单、性能稳定的特点。以下是对其原理、操作和性能的具体介绍：
• 偏振光原理：PA-300通过0.001nm最小分辨率的光子晶体阵列检测单元，结合520nm绿光波段的双折射增强算法，利用斯托克斯分量同步采集技术，来捕捉基板边缘与中心区域的相位差梯度变化。该技术避免了机械旋转部件导致的振动误差，检测灵敏度较传统偏振光干涉法提升3倍。
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• 操作方法：PA-300配备了基板专属智能数显系统，操作较为简单。其PA-View软件支持基板按“有效区域/边缘区域/定位标记区”自定义分区检测，可实时生成彩色相位差热力图，红色预警区能精准锁定应力集中点，还可一键导出数据至半导体工厂LIMS系统。此外，设备还支持多尺寸自适应校准，针对不同尺寸的基板，可通过镜头与机型组合实现检测，无需复杂的操作步骤。
• 性能特点：PA-300的相位差测量范围为0-130nm，最小分辨率达0.001nm，12英寸基板全区域检测重复精度稳定在σ<0.1nm，全域均匀性判定为σ<0.5nm，符合SEMI P492标准。设备采用无油化光学系统与防尘密封结构，符合ISO 14644-1 Class 5洁净等级要求，GigE接口支持远距离数据传输，最长可达100米，可避免检测设备对洁净室气流的干扰。
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