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(来源:SEMI)
据报道,近日,深圳稳顶聚芯技术有限公司(简称“稳顶聚芯”)宣布,该公司研发的首台国产高精度Stepper(步进式)光刻机顺利出厂。
据其披露的产品资料显示,这款步进式光刻机属于其WS180i系列,主要应用于mini/micro LED光电器件、光芯片、功率器件等化合物半导体领域,能够满足硅片、蓝宝石、SiC等衬底的不同胶厚光刻工艺需求。具体参数方面,WS180i系列覆盖了2-8英寸晶圆,分辨率覆盖了1.5μm-0.35μm。
除了步进式光刻机之外,稳顶聚芯还拥有套刻及关键尺寸光学量测设备(量测精度10nm)、超精密光学成像质量评价系统、高性能主动减震系统、晶圆寻边器、晶圆机械手、薄膜测量系统(膜厚测量精范围10nm-100μm)。
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