工业气体背后的小巨头

文丨泰罗

随着光刻机概念的火热，工业气体板块也随之有所表现。

9月19日，凯美特气涨停，广钢气体、和远气体、金宏气体、雅克科技、杭氧股份等都纷纷上涨。

工业特气被称为中国工业的“血液”，有一家中国公司，掌握了高纯特气的核心技术，成为该产业链上的巨头，它就是华特气体。

华特气体生产的光刻气在国内市占率高达6成，是中国唯一、世界唯四，获得光刻机巨头ASML、GIGAPHOTON认证的中国企业。

它进入了长江存储、中芯国际、华虹宏力、合肥长鑫等几乎所有国内头部芯片企业供应链，实现8寸以上集成电路制造厂商超90%的覆盖率。不仅如此，还参与到英特尔、德州仪器、台积电、三星、英飞凌等十几个国际巨头的产业链中，真正做到与外国同行，尖峰竞争。

都说性格决定命运，华特气体有今天的成就，跟这位头发花白的老人有很大关系。他就是华特董事长，石平湘。

1976年，在佛山市二氧化碳研究所担任经理的石平湘，与上面派来的巡视员，一起参观工厂。

厂房静悄悄的。突然，砰的一声巨响，一名工人紧跟着咆哮：“这个价格太离谱，5N的纯度，1公斤居然要卖90美金。”电子特气的纯度用N来表示，比如99.999%，就是5N，有多少个9，就是多少N。9越多，纯度就越高。

房间里的大象显了形。当时，缺“气”是困扰不少工厂的一大难题，主要依赖进口，不仅价格特别高，还得求着人家买。90美金，是一名工程师几个月的工资。一位专家当场说了句气话：中国的化工人是吃素的吗？

石平湘深受震动，他认为中国要发展，一定要技术领先。中国企业不能满足于吃素，要吃肉。45岁这年，他带头创立广东华南特种气体研究所，经过一段时间的苦苦摸索之后，团队研发出首个气体产品——氩加二氧化碳。石平湘就此踏上“争气”之路。

进入21世纪，电子特气还是被“卡脖子”。而它又是价值链上，仅次于晶圆的一项。

比如，光刻气的纯度，直接影响芯片的性能、良率和成本，从28nm、14nm，到7nm、5nm，越先进的制程，对纯度的要求就越高。

石平湘决定再争一口气，向电子特气领域进军，投入人力、物力进行自主研发。注意，特气种类繁多，并且是小批量、高频次的供货特点，而电子特气一旦出现质量问题，不仅是同批产品，就连整条晶圆生产线都将报废，客户对供应商选择极为谨慎，轻易不会更换供应商。

可想而知，石平湘顶着多大的压力。好在华特成功研发出了自己的电子特种气体，实现了50多个产品等国产替代，做到为 14nm、7nm 产线供料，部分甚至用于 5nm 工艺。除此之外，华特气体的产品还广泛用于生物医疗、光伏新材等等产业当中。

事实上，特种气体用处虽广，但市场规模一直不大，到2025年只有不到500亿，加上利润率不高，很多公司不愿意花精力钻研。但石平湘不管那么多。利润虽薄，却关乎中国工业血液是否握在我们自己手上。30多年来，华特气体获取近百项授权专利，参与制定了多项国家标准，产品出口到超50个国家和地区。

即使已经实现了当初的目标，石平湘还在继续向乙硅烷、锗烷等高价值特气产品，发起研发量产挑战。

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