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高盛:中国光刻机落后20年!

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  国芯网[原:中国半导体论坛] 振兴国产半导体产业!

  9月2日消息,据高盛最新发布的报告,他们认为中国的国产光刻机只能生产65nm工艺的芯片,相比国际巨头ASML落后足足有大约20年!

  高盛称,虽然中国已经可以生产7nm工艺芯片,但极有可能还是利用了ASML比较老旧的DUV深紫外光刻机,因为中国还不具备制造这种设备的能力,更别提ASML已经发展了两代EUV极紫外光刻机。

  目前,ASML最新的High-NA EUV光刻机已经开始交付给Intel、台积电、三星,对于1.4nm以下的工艺至关重要。

  它重达180吨,体积如同双层巴士,堪称全球最昂贵的半导体制造设备,同时也是最贵的,单台价格估计超过4亿美元。

  高盛还指出,ASML光刻机从65nm发展到3nm及以下,用了长达20年的时间,投入了400亿美元的研发与资本费用。

  因此高盛认为,综合考虑中国当前的半导体技术水平、先进工艺研发的巨大投入、全球产业链的复杂性、高风险的地缘因素,中国国产光刻机不可能在短期内追上西方先进水平。

  可能很多人不太清楚,现在大规模生产芯片,基本上都是靠光刻工艺。而光刻机可以说是整个生产线里最核心的设备,它的成本大概占所有设备总成本的30%左右。其他很多设备,其实都是围绕着光刻机来配合工作的。

  全球的光刻机市场,基本上被ASML一家公司垄断了,市场份额超过80%。尤其是最先进的EUV光刻机,ASML几乎是独家供货,市场份额达到了100%。就连比较高端的浸润式DUV光刻机,ASML也占据了95%以上的份额。

  另外,光刻机和芯片的制程工艺是直接对应的。比如说,ArFi这种浸润式DUV光刻机,一般用来做65纳米左右的芯片;而EUV光刻机则用于7纳米及以下的先进制程芯片制造。

  现在国内公开的光刻机,还是那种叫ArF的,用来做90纳米工艺的芯片,跟ASML比起来,确实差了至少20年,甚至更多。

  当然也有人觉得,那些没公开的技术可能更厉害。不过不管有没有公开,目前咱们连浸润式的DUV光刻机都没有,更别说EUV这种顶级的光刻机了,那就更别提了。

  相比之下,其他半导体设备方面,我们其实已经有不少突破了,在很多领域都比90纳米的光刻机技术还要先进。

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