电子用化学品NF3的生产所用制冷温度采用约克乙二醇制冷机组

电子用化学品NF3的生产所用制冷温度 乙二醇制冷机组
江森自控
约克冷冻
盐水机组
型号：RXF68E-BC
制冷剂：R134A
制冷量：233KW
蒸发温度/冷凝温度：-9℃/+40℃
40%乙二醇溶液进出水温度：0/-5℃
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#上海九穗制冷系统工程有限公司
三氟化氮（NF3）作为电子用高科技化学品，主要用于半导体、液晶显示器和太阳能电池制造中的蚀刻和清洁气体。其生产工艺主要采用电解法（熔融NH4F·HF电解）或直接氟化法（氨与氟气反应），反应过程温度通常在100-140°C（电解法）或80°C以下（气相氟化法），以控制反应安全并提高产率。
在生产工艺中，制冷温度主要应用于产物纯化和收集阶段，因为NF3的沸点为-129.01°C，熔点为-206.79°C。纯化常采用低温精馏（cryogenic distillation）或真空蒸馏结合低温收集方法，典型制冷温度范围为-100°C至-192°C（或144K至165K），用于液化NF3并分离杂质（如CF4、N2F2、CO2等）。这一过程能量密集，需要高效制冷系统以维持极低温，避免NF3分解（>100°C易分解）并确保纯度达99.99%以上。
关于乙二醇制冷机组：在NF3生产文献中未找到直接使用乙二醇作为制冷剂的明确记录。乙二醇（通常与水混合）常用于工业中低温制冷系统（如螺杆式冷冻机组），可实现-40°C至-50°C的冷却温度，适用于辅助冷却或热交换（如设备表面冷却或反应器温度控制）。对于NF3纯化的极低温需求（<-100°C），乙二醇机组通常不足以直接达到，可能需结合氨、氟利昂或级联制冷系统使用。若查询涉及乙二醇机组在类似化工过程中的应用，其制冷温度取决于浓度（如30%乙二醇水溶液冻点约-13°C，60%约-50°C），但NF3工艺更依赖专用低温设备。