北京
金融界2025年8月22日消息，国家知识产权局信息显示，福建金石能源有限公司申请一项名为“用于镀多种膜层且具有温控功能的PECVD系统及镀膜方法”的专利，公开号CN120519837A，申请日期为2025年07月。
专利摘要显示，本发明属于半导体设备领域，具体涉及一种用于镀多种膜层且具有温控功能的PECVD系统及镀膜方法，在腔室结构的腔盖和/或腔底上设置冷却管路，并通过冷却管路弯折形成多个调温区域，在对应的调温区域设置加热部件，并在腔盖和腔底对应于调温区域的位置分别设置温度检测部件，通过检测载板各区域的温度情况，可间接反映反应腔室内的温度均匀性，从而根据温度分布的差异调节对应区域的温度，以保证载板上的硅片在镀膜过程中处于温度相对均匀的反应气氛中；此外，在反应结束后可以通过向冷却管路中通入换热介质实现快速降温，同时结合加热部件，有利于缩短降温冷却时间和复机时间，从而提高设备的利用率。
天眼查资料显示，福建金石能源有限公司，成立于2016年，位于泉州市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本21725.929707万人民币。通过天眼查大数据分析，福建金石能源有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目3次，财产线索方面有商标信息1条，专利信息476条，此外企业还拥有行政许可18个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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