金融界2025年8月18日消息,国家知识产权局信息显示,上海华力集成电路制造有限公司申请一项名为“针对斜边相邻短临边的OPC预处理方法及系统、OPC修正方法”的专利,公开号CN120491393A,申请日期为2025年04月。
专利摘要显示,本发明提供一种针对斜边相邻短临边的OPC预处理方法及系统、OPC修正方法中,针对斜边相邻短临边的OPC预处理方法包括:获取待处理图形,待处理图形至少包括斜边以及与斜边相连的短临边,其中,短临边的尺寸小于预设分段尺寸;基于短临边的尺寸以及预设分段尺寸,在与短临边的另一端相连的非斜临边上定位一截取点;在斜边上与截取点相对应的位置,形成与短临边的延长线相连的线端;基于线端,对待处理图形进行逻辑运算,以得到目标图形。如此配置,通过在斜边上形成与短临边的延长线相连的线端,能够避免侵占短临边的修正空间,最终的仿真图形与目标图形之间的差异可以进一步减小,有效提升了OPC修正效果。
本文源自:金融界
作者:情报员
特别声明:以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布,本平台仅提供信息存储服务。
Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.