余杭诞生“纳米神笔”！首台国产电子束光刻机“羲之”0.6纳米精度比肩国际

8月13日，坐落于余杭区的浙江大学校友企业总部经济园传出喜讯，杭州城西科创大走廊浙大成果转化基地首批签约孵化的项目之一，首台国产商业化电子束光刻机已在客户现场进入应用测试，其精度比肩国际主流设备，标志着量子芯片研发从此有了“中国刻刀”。

在中国科技大学，浙大量子研究院相关团队正在对一台模样酷似大型钢柜的机器进行紧张测试，电子显示屏上不断闪烁着实时参数。“这不是普通的机器，而是一支能在头发丝上雕刻出整座城市地图的‘纳米神笔’。”团队负责人说，依托省重点实验室，研究院自主研发的新一代100kV电子束光刻机“羲之”已正式走向市场。

据悉，该光刻机取名“羲之”，是因其精密“书写”能力与书法家王羲之的毛笔神韵相契合。“只不过我们的‘毛笔’是电子束，在芯片上刻写电路。” 研发团队相关负责人介绍，这台设备专攻量子芯片、新型半导体研发的核心环节，它通过高能电子束在硅基上“手写”电路，精度达到0.6纳米，线宽8纳米，可灵活修改设计图案，无需传统光刻所需的掩膜版，如同用纳米级毛笔在芯片上精准作画。“芯片研发初期会设计很多版型、图案，常常需要一条线一条线进行修改，电子束光刻机精度高、‘书写’便捷，极大提升了芯片研发初期反复调试的效率。”研发团队相关负责人说，“羲之”的落地具有破局意义。此前，此类设备受国际出口管制，国内顶尖科研机构和企业长期无法采购，“羲之”的落地彻底打破这一困局，目前已与多家科研机构展开接洽。

“羲之”光刻机在余杭成功诞生并非孤例，背后是科技创新与产业创新“两新融合”的强力驱动。今年7月，省级教育科技人才一体改革专项试点项目落地于余杭的浙江大学校友企业总部经济园，浙江大学、校友总部经济园和余杭共同联手搭建成果转化高速路，园区企业开出“技术需求清单”，浙大教授带研究生组队“揭榜”，地方政府从实验室样品到量产产品，全流程陪跑。

研发团队相关负责人表示，“羲之”电子束光刻机的成功应用测试，是我国高端半导体核心装备国产化的重大突破，这把自主可控的“中国刻刀”，将为加速国产高端芯片的研发进程、抢占未来科技制高点提供坚实的装备基础。