光刻机概念再度活跃，科创半导体ETF（588170）盘中涨近1%，持仓股中船特气涨近3%

截至2025年8月15日 10点10，上证科创板半导体材料设备主题指数下跌0.20%。成分股方面涨跌互现，和林微纳领涨3.95%，中船特气上证2.76%，龙图光罩上涨2.55%，明志科技上涨1.78%；上海合晶领跌1.02%，中科飞测下跌1.01%，华峰测控下跌0.93%。科创半导体ETF（588170）盘中冲高，涨近1%。拉长时间看，截至2025年8月14日，科创半导体ETF（588170）近2周累计上涨0.94%。流动性方面，科创半导体ETF（588170）盘中换手4.54%，成交1902.36万元。

拉长时间看，截至8月14日，科创半导体ETF（588170）近1周日均成交5872.74万元。规模方面，科创半导体ETF（588170）近2周规模增长1011.94万元，实现显著增长。份额方面，科创半导体ETF（588170）近2周份额增长200.00万份，实现显著增长。资金流入方面，科创半导体ETF（588170）最新资金净流入1087.18万元。拉长时间看，近23个交易日内有19日资金净流入，合计“吸金”1.73亿元，日均净流入达750.13万元。

东海证券认为，AI领域投资强度仍未放缓，体现长期增长潜力。短期看，由于美国在先进制程、AI芯片等领域具备技术优势，国产芯片短期难以完全替代，或致使产能爬坡延迟、终端产品涨价、企业盈利水平承压，长期看有望加速国内半导体国产替代进程，加快本土半导体供应链建设，形成新的国际合作关系，重塑全球半导体供应链格局。

相关ETF：公开信息显示，科创半导体ETF（588170）跟踪上证科创板半导体材料设备主题指数，囊括科创板中半导体设备（59%）和半导体材料（25%）细分领域的硬科技公司。半导体设备和材料行业是重要的国产替代领域，具备国产化率较低、国产替代天花板较高属性，受益于人工智能革命下的半导体需求扩张、科技重组并购浪潮、光刻机技术进展。

半导体材料ETF（562590）及其联接基金（A类：020356、C类：020357），指数中半导体设备（59%）、半导体材料（24%）占比靠前，充分聚焦半导体上游。