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金融界2025年8月5日消息，国家知识产权局信息显示，科磊股份有限公司申请一项名为“在样品上的阵列区域中检测缺陷”的专利，公开号CN120418644A，申请日期为2024年01月。
专利摘要显示，提供用于在样品上的阵列区域中检测缺陷的方法及系统。一种系统包含检验子系统，其经配置用于响应于在样品上的阵列区域中形成的经图案化特征而产生输出。所述系统还包含计算机子系统，其经配置用于确定所述输出中的所述经图案化特征的间距是否为产生所述输出的所述检验子系统的检测器中的整数个像素。当所述间距不是整数个所述像素时，所述计算机子系统经配置用于对所述输出进行内插以产生经内插输出，所述经内插输出具有所述经内插输出中的所述经图案化特征的经修改间距，所述经修改间距是整数个所述像素。所述计算机子系统还经配置用于通过将缺陷检测方法应用于所述经内插输出而在所述阵列区域中检测缺陷。
本文源自：金融界
作者：情报员
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