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金融界2025年7月23日消息，国家知识产权局信息显示，新毅东（北京）科技有限公司申请一项名为“偏振像差补偿参数的获取方法、系统及光刻机”的专利，公开号CN120353103A，申请日期为2025年06月。
专利摘要显示，本发明提供一种偏振像差补偿参数的获取方法、系统及光刻机，涉及偏振照明技术领域。所述方法包括获取光刻机系统对应的穆勒矩阵序列和环境参数序列，所述穆勒矩阵序列和所述环境参数序列的时序是对齐的；对所述穆勒矩阵序列和所述环境参数序列分别进行特征提取并将同一时序的特征进行组合，得到特征张量序列；根据所述特征张量序列确定目标补偿参数，所述目标补偿参数用于对所述光刻机系统的偏振像差进行补偿。
天眼查资料显示，新毅东（北京）科技有限公司，成立于2014年，位于北京市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本3589.4516万人民币。通过天眼查大数据分析，新毅东（北京）科技有限公司共对外投资了12家企业，参与招投标项目61次，财产线索方面有商标信息28条，专利信息122条，此外企业还拥有行政许可7个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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