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金融界2025年7月18日消息，国家知识产权局信息显示，上海新傲芯翼科技有限公司申请一项名为“键合晶圆的形成方法”的专利，公开号CN120341170A，申请日期为2025年04月。
专利摘要显示，本发明提供一种键合晶圆的形成方法，先于器件晶圆的一表面形成第一氧化层；然后于支撑晶圆的正面形成缺陷富集层；接着，于缺陷富集层表面形成第二氧化层，第二氧化层的厚度大于第一氧化层的厚度，且第二氧化层的厚度与第一氧化层的厚度之和满足预设厚度；将第二氧化层面向第一氧化层键合，以形成键合晶圆；对键合晶圆进行剥离处理。如此，减小了第一氧化层的厚度并增大了第二氧化层的厚度，使得第二氧化层产生的张应力能够抵消更多的缺陷富集层产生的形变应力，从而在后续的剥离处理中降低了键合晶圆的表面划伤问题。
天眼查资料显示，上海新傲芯翼科技有限公司，成立于2022年，位于上海市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本80000万人民币。通过天眼查大数据分析，上海新傲芯翼科技有限公司参与招投标项目22次，财产线索方面有商标信息9条，专利信息39条，此外企业还拥有行政许可4个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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