金融界2025年7月9日消息,国家知识产权局信息显示,成都联江科技有限公司取得一项名为“一种紫外光刻物镜及光刻机”的专利,授权公告号CN223078538U,申请日期为2024年09月。
专利摘要显示,本实用新型提出一种紫外光刻物镜及光刻机,基于光学成像技术领域,紫外光刻物镜包括由物侧到像侧依次布置的物面、第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组、第四透镜组、第五透镜组、第六透镜组、第七透镜组以及像面;其中,第一透镜组包括第一透镜,第二透镜组包括第二透镜、第三透镜以及第四透镜,第三透镜组包括第五透镜以及第六透镜,第四透镜组包括第七透镜以及第八透镜,第五透镜组包括第九透镜、第十透镜以及第十一透镜,第六透镜组包括第十二透镜、第十三透镜以及第十四透镜,第七透镜组包括第十五透镜、第十六透镜以及第十七透镜,以使得物方数值孔径达到0.09,像方有效视场达到25mm。本方案通过采用十七枚透镜,成本低、效率高、曝光面积大。
天眼查资料显示,成都联江科技有限公司,成立于2019年,位于成都市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,成都联江科技有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目1次,专利信息111条,此外企业还拥有行政许可4个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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