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金融界2025年7月9日消息，国家知识产权局信息显示，ASM IP私人控股有限公司申请一项名为“气体歧管及包括其的组件和系统”的专利，公开号CN120272879A，申请日期为2025年01月。
专利摘要显示，公开了用于向反应室提供气体的设备、包括设备的反应器系统以及使用该设备和系统的方法。本文所述的系统和方法可用于例如以所需的流量分布向反应室提供两种或更多种前体的混合物。
本文源自：金融界
作者：情报员
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