北京
分享至
金融界2025年7月8日消息，国家知识产权局信息显示，桂林电子科技大学;南宁桂电电子科技研究院有限公司申请一项名为“一种基于FOC算法的电子束多极靴线圈偏转系统控制方法”的专利，公开号CN120255419A，申请日期为2025年04月。
专利摘要显示，本发明提供了一种基于FOC算法的电子束多极靴线圈偏转系统控制方法。电子束多极靴偏转线圈和电机的定子线圈有相似的结构，而电机领域使用FOC（Field‑Oriented Control，磁场定向控制）算法可以实现高精度的控制，因此本发明将这项技术引入到电子束偏转控制系统，设计了电子束专用Park变换以及动态调整PI参数，为电子束偏转控制系统提提供一个新思路。通过反电动势观测器检测整个FOC控制过程，测量电子数落点位置，从而实现闭环控制。将测量到的落点位置信息与用户输入的期望位置信息进行比较，得到的差值误差位置信息，FOC高频扫描驱动电路就会做出相应的调整，直至误差位置信息被消除。这项技术可以广泛应用于电子束行业的衍生领域如电子束光刻、扫描电镜扫描、电子束增材制造（EBM）等，具有很好的应用前景。
本文源自：金融界
作者：情报员
特别声明：以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布，本平台仅提供信息存储服务。
Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.
