北京
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金融界2025年7月2日消息，国家知识产权局信息显示，细美事有限公司申请一项名为“喷头组件以及基板处理装置”的专利，公开号CN120236970A，申请日期为2024年09月。
专利摘要显示，根据本发明，提供喷头组件以及基板处理装置。喷头组件包括：喷头，用于将工艺气体向工艺腔室的基板处理空间喷出；以及切断气流形成单元，在喷头内形成在与工艺气体的喷出方向正交的方向上穿过喷头的内部的切断气流而切断工艺气体的喷出。依据这样的喷头组件，能够精密调节向基板处理空间供应的工艺气体的量。
本文源自：金融界
作者：情报员
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