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金融界2025年7月2日消息，国家知识产权局信息显示，细美事有限公司申请一项名为“基板处理装置”的专利，公开号CN120236974A，申请日期为2024年10月。
专利摘要显示，根据本发明的一实施例的基板处理装置，其特征在于，所述基板处理装置包括：腔室，在内部提供用于基板处理的处理空间；基板支承单元，配置于所述腔室的内部；气体供应单元，向所述腔室的内部供应气体；等离子体生成单元，包括用于在所述处理空间生成等离子体的高频电源；电磁石单元，用于在所述处理空间产生磁场；以及控制部，所述电磁石单元包括线圈模组以及与所述线圈模组相邻配置的磁性流体贮存器。
本文源自：金融界
作者：情报员
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