北京
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金融界2025年7月2日消息，国家知识产权局信息显示，细美事有限公司申请一项名为“基板处理装置”的专利，公开号CN120237045A，申请日期为2024年09月。
专利摘要显示，本发明提供一种基板处理装置，包括：工艺腔室，提供基板处理空间；基板卡盘，在基板处理空间中支承基板，并具有加热器，并且调节基板的温度；以及卡盘温度调节单元，将基板卡盘划分为多个加热区域而通过吸热作用、隔热作用以及冷却作用在每个加热区域调节基板卡盘的温度。
本文源自：金融界
作者：情报员
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