北京
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金融界2025年7月1日消息，国家知识产权局信息显示，细美事有限公司申请一项名为“化学品供应装置和化学品供应方法”的专利，公开号CN120228072A，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，本发明公开了一种化学品供应装置和化学品供应方法。具体提供的液体加工装置的化学品供应装置包括：将化学品供应到基板加工装置并回收在基板加工装置中使用过的化学品的第一罐；混合化学品并且将混合后的化学品供应到第一罐的第二罐；将化学品供应到第一罐和第二罐的化学品供应器；以及控制器，该控制器在第一罐中储存的化学品的使用寿命达到其使用寿命时执行用于将新的化学品供应到第一罐的液体交换模式、并且控制罐和化学品供应器使得在液体交换模式中将化学品从第二罐供应到基板加工装置。
本文源自：金融界
作者：情报员
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