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金融界2025年6月24日消息，国家知识产权局信息显示，浙江欣芯微机电制造有限公司申请一项名为“悬空可动结构的形成方法”的专利，公开号CN120191888A，申请日期为2025年03月。
专利摘要显示，本发明涉及一种悬空可动结构的形成方法，涉及半导体技术领域，所述方法包括：提供硅片，所述硅片包括第一硅层、第二硅层以及埋设于所述第一硅层、所述第二硅层之间的隔离层，所述隔离层为氧化硅；刻蚀所述第一硅层至露出隔离层，剩余的第一硅层以及暴露出的隔离层共同形成第一凹槽；形成覆盖所述第一凹槽侧壁的第二氧化硅层；去除暴露出的隔离层至露出下方的第二硅层，形成剩余隔离层；气态腐蚀暴露出的第二硅层以去除部分厚度的所述第二硅层，形成剩余第二硅层以及悬空于所述剩余第二硅层的初始悬空结构。
天眼查资料显示，浙江欣芯微机电制造有限公司，成立于2021年，位于湖州市，是一家以从事仪器仪表制造业为主的企业。企业注册资本15888.89万人民币。通过天眼查大数据分析，浙江欣芯微机电制造有限公司参与招投标项目7次，财产线索方面有商标信息5条，专利信息4条，此外企业还拥有行政许可2个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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