金融界2025年6月24日消息,国家知识产权局信息显示,宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司申请一项名为“减少12寸红磷硅单晶外延层错的装置、方法、产品及单晶炉”的专利,公开号CN120193325A,申请日期为2025年03月。
专利摘要显示,本发明属于半导体材料加工设备技术领域,具体涉及一种减少12寸红磷硅单晶外延层错的装置、方法、产品及单晶炉,方法包括:相比于传统减少20%一次性投入石英坩埚内的多晶硅与红磷的量,多晶硅与所述红磷的质量比为1000g:(6至9)g,对于投入后的多晶硅和红磷加热,熔化得到熔体;将籽晶缓慢下降至熔体表面,使籽晶开始生长;将冷却水注入第一进液孔和第二进液孔,注入第一进液孔的冷却水依次从第一排液孔排出,在第一液冷套的内层与所述隔离板之间形成第一螺旋通道,注入第二进液孔的冷却水依次从第二排液孔排出,在第二液冷套的外层与所述隔离板之间形成第二螺旋通道;在双层液冷组件的冷却作用下,拉制籽晶,得到的单晶硅棒的外延层错数量减少。
天眼查资料显示,宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司,成立于2015年,位于银川市,是一家以从事非金属矿物制品业为主的企业。企业注册资本150000万人民币。通过天眼查大数据分析,宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司参与招投标项目17次,专利信息286条,此外企业还拥有行政许可24个。
本文源自:金融界
作者:情报员
特别声明:以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布,本平台仅提供信息存储服务。
Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.