金融界2025年6月23日消息,国家知识产权局信息显示,江苏鲁汶仪器股份有限公司申请一项名为“一种离子源结构及加工设备”的专利,公开号CN120183987A,申请日期为2023年12月。
专利摘要显示,本发明提供了一种离子源结构及加工设备,该离子源结构包括:离子源腔体,离子源腔体包括第一侧壁,以及在第一方向上相对设置的第一底部区域和第一开口区域;N套栅网组件,栅网组件位于第一开口区域远离第一底部区域的一侧,N套所述栅网组件在所述第一方向上的正投影互不交叠,N≥2,且N为正整数;其中,所述离子源腔体内部的等离子体经过所述栅网组件形成离子束。也就是说该离子源结构在等离子体出射的方向上集成排布了N套栅网组件,等离子体经过每一套栅网组件时都可以产生相应的离子束,相比较现有技术而言,在可以实现加快效率和提高产能的情况下,无需多个离子源结构同时进行工作,可显著降低工艺成本,且减小了设备体积。
天眼查资料显示,江苏鲁汶仪器股份有限公司,成立于2015年,位于徐州市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本16631.8311万人民币。通过天眼查大数据分析,江苏鲁汶仪器股份有限公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目232次,财产线索方面有商标信息31条,专利信息450条,此外企业还拥有行政许可14个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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