黑龙江
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机构表示，光刻机是晶圆制造最核心设备之一，技术难度最高且当前国产化率最低。光学系统为光刻机最核心部件。光刻机光学部件指直接参与光的传输和处理过程的精密零部件。
光源及双工台同为光刻机核心部件，对光刻机效率起到重要作用。相关供应链企业努力攻坚，国内高端光刻机突破势在必行。国金证券指出，自O2专项以来，部分光刻机整机公司在部分制程上已取得较为显著的成绩，
完成了终端的0到1突破，在低端环节后续有望迎来产业端放量；在高端整机环节，2024年工信部发布的《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录》中将国产KrF及ArF光刻机明确列入，标志着我国在DUV光刻机领域已取得明确进展。
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