北京
金融界2025年6月21日消息，国家知识产权局信息显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司申请一项名为“一种闪耀光栅及其刻蚀方法”的专利，公开号CN120178402A，申请日期为2023年12月。
专利摘要显示，本发明提供了一种闪耀光栅及其刻蚀方法，所述闪耀光栅的刻蚀方法通过在待刻蚀膜层的第一表面形成多个在第一方向上间隔排布的同质掩膜单元，将用于刻蚀的离子束以入射角度α从第一表面的一侧入射至具有同质掩膜单元的待刻蚀膜层上，形成多个在第一方向上依次排布的闪耀光栅单元，该闪耀光栅单元包括闪耀光栅主体部分和闪耀光栅间断部分；由于本发明中闪耀光栅间断部分的宽度由s‑(h×tanα)计算得到，通过改变离子束的入射角度α、同质掩膜单元的厚度h，以及任意相邻两个同质掩膜单元之间的间距s，从而实现对闪耀光栅间断部分宽度的控制，以改变闪耀光栅单元的结构，可以获得满足特定参数要求的闪耀光栅单元，以达到理想的衍射效率。
天眼查资料显示，江苏鲁汶仪器股份有限公司，成立于2015年，位于徐州市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本16631.8311万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏鲁汶仪器股份有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目232次，财产线索方面有商标信息31条，专利信息450条，此外企业还拥有行政许可14个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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