北京
金融界2025年6月20日消息，国家知识产权局信息显示，华海清科股份有限公司申请一项名为“一种晶圆后处理装置、背面擦洗设备、方法和处理设备”的专利，公开号CN120170636A，申请日期为2025年05月。
专利摘要显示，本发明提供一种晶圆后处理装置、背面擦洗设备、方法和处理设备，晶圆后处理装置包括：擦洗组件、支撑组件和夹持组件；擦洗组件包括擦洗臂、擦洗头和擦洗垫，擦洗垫安装在擦洗头上；支撑组件包括支撑臂和支撑头，支撑头的表面上分布有多个支撑流体喷孔；处理晶圆时，夹持组件夹持并带动晶圆旋转，晶圆位于擦洗垫和支撑头之间，支撑头的表面与晶圆正面具有间隙，擦洗垫以擦洗压力贴合晶圆背面并旋转，擦洗头和支撑头往复摆动并在摆动过程中始终保持对位，擦洗流体通道向晶圆背面供应擦洗流体，支撑流体喷孔持续向晶圆正面喷出支撑流体，以使得支撑头表面不与晶圆正面接触；从而不损伤晶圆正面的同时，去除晶圆背面的污染物。
天眼查资料显示，华海清科股份有限公司，成立于2013年，位于天津市，是一家以从事化学原料和化学制品制造业为主的企业。企业注册资本23672.4893万人民币。通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标项目225次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息704条，此外企业还拥有行政许可30个。
本文源自金融界
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