金融界2025年6月18日消息,国家知识产权局信息显示,上海华力微电子有限公司申请一项名为“晶圆生产线设备管控方法”的专利,公开号CN120163373A,申请日期为2025年02月。
专利摘要显示,本发明提供了一种晶圆生产线设备管控方法,包括:将所有生产设备与各个工艺道次对应,令与目标工艺道次对应的生产设备为目标设备;根据目标批次晶圆到达目标工艺道次所需的时长、目标设备空闲下来所需的时长和目标设备每小时所能作业的晶圆数量计算出目标设备的可派工晶圆数量;判断目标设备是否可派工:若可派工晶圆数量大于等于目标设备一次作业所能处理的晶圆数量,则进行派工操作,若可派工晶圆数量小于目标设备一次作业所能处理的晶圆数量,则进行管控操作。
本文源自:金融界
作者:情报员
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