金融界2025年6月17日消息,国家知识产权局信息显示,伊诺菲(苏州)科技有限公司申请一项名为“一种纤锌矿铁电二极管及其制备方法”的专利,公开号CN120166918A,申请日期为2025年03月。
专利摘要显示,本发明涉及半导体器件制备技术领域,具体涉及一种纤锌矿铁电二极管及其制备方法,包括:在基底上沉积底电极层;基于反应离子共溅射的方式在底电极层上沉积铁电层,在沉积铁电层的过程中进行加热,对基底进行冷却,对基底进行冷却完成后,在铁电层上沉积顶电极层。本发明采用反应离子共溅射的方式沉积铁电层,在沉积铁电层的过程中进行加热,并将加热温度控制在400℃以内,在较低的温度下实现致密、均匀且附着力强的铁电层,可以很好地兼容互补金属氧化物半导体工艺;采用物理气相沉积方式沉积底电极层以及顶电极层,沉积均匀、致密的金属薄膜,适用于底电极和顶电极的沉积,提高铁电二极管的可靠性。
天眼查资料显示,伊诺菲(苏州)科技有限公司,成立于2024年,位于苏州市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本50万人民币。通过天眼查大数据分析,伊诺菲(苏州)科技有限公司专利信息1条。
本文源自:金融界
作者:情报员
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