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金融界2025年6月17日消息，国家知识产权局信息显示，细美事有限公司申请一项名为“加热装置和包括所述加热装置的基板处理设备”的专利，公开号CN120164774A，申请日期为2024年12月。
专利摘要显示，提供了一种能够均匀地维持基板的每个区域的表面温度的加热装置和包括所述加热装置的基板处理设备。所述基板处理设备包括：腔室壳体，所述腔室壳体提供在其中处理基板的空间；基板支撑单元，所述基板支撑单元将所述基板支撑在所述腔室壳体内部；喷淋头单元，所述喷淋头单元将工艺气体提供到所述腔室壳体中；等离子体产生单元，所述等离子体产生单元通过使用所述工艺气体产生用于处理所述腔室壳体内部的所述基板的等离子体；和加热装置，所述加热装置通过使用多个电磁波来加热所述基板，其中，所述多个电磁波在功率、频率或相位中的至少一个分量上彼此不同。
本文源自：金融界
作者：情报员
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