金融界2025年6月17日消息,国家知识产权局信息显示,江西万年晶半导体有限公司申请一项名为“一种先介质GaN HEMT垂直结构芯片及其制备方法”的专利,公开号CN120166730A,申请日期为2025年03月。
专利摘要显示,本发明公开了一种先介质GaN HEMT垂直结构芯片及其制备方法,属于先介质层制备技术领域,方法包括:清洗并干燥GaN HEMT垂直结构外延片,钝化SiN阻挡层,定位标记后;光刻刻蚀形成源极窗口和电极接触区域,蒸镀形成源极电极;光刻离子注入形成芯片隔离区域;刻蚀表面SiN后,光刻出栅极电极接触区域并蒸镀形成栅极电极;生长钝化层,刻蚀源极和栅极的导电通道,蒸镀得到场板;深刻蚀开孔后,在底部光刻出漏极电极接触区域并蒸镀形成漏极电极;在底部和顶部分别生长钝化层,光刻出电极引出区域,得到先介质GaN HEMT垂直结构芯片。
天眼查资料显示,江西万年晶半导体有限公司,成立于2023年,位于上饶市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本19000万人民币。通过天眼查大数据分析,江西万年晶半导体有限公司参与招投标项目7次,财产线索方面有商标信息5条,专利信息36条,此外企业还拥有行政许可7个。
本文源自:金融界
作者:情报员
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