北京
金融界2025年6月14日消息，国家知识产权局信息显示，宁波润华全芯微电子设备有限公司申请一项名为“一种多分区加热装置及其加热方法”的专利，公开号CN120152077A，申请日期为2025年04月。
专利摘要显示，本发明申请涉及一种多分区加热装置及其加热方法，属于多分区加热技术领域，多分区加热方法包括：步骤S100，制造多分区加热装置，中央加热单元、第一加热单元、第二加热单元工作，中心圆形区域、第一环形区域、第二环形区域通过热传导和/或热辐射加热；步骤S200，第一温度传感器监测中心圆形区域的中心温度，多个第二温度传感器监测第一环形区域的温度以获得第一温度数据集，多个第三传感器监测第一环形区域的温度以获得第二温度数据集；步骤S300，控制中心温度、第一温度数据集、第二温度数据集处于预设值或预设范围后，中央加热单元、第一加热单元、第二加热单元对晶圆进行加热。
天眼查资料显示，宁波润华全芯微电子设备有限公司，成立于2016年，位于宁波市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本3584.0571万人民币。通过天眼查大数据分析，宁波润华全芯微电子设备有限公司参与招投标项目136次，财产线索方面有商标信息10条，专利信息167条，此外企业还拥有行政许可20个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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