北京
金融界2025年6月14日消息，国家知识产权局信息显示，上海通嘉宏盛半导体设备有限公司取得一项名为“一种气体消减系统及其气路冷却装置”的专利，授权公告号CN222975292U，申请日期为2024年09月。
专利摘要显示，本公开实施例提供一种气体消减系统及其气路冷却装置，该气路冷却装置包括冷却本体、通气孔和冷却通道，通气孔贯穿设置于冷却本体的中央区域，通气孔的两端分别用于与离子发生装置和反应腔室相连通；冷却通道设置于冷却本体的内部并围设于通气孔的外侧；冷却通道用于流经冷却物质以冷却流经通气孔的气体。在不改变原有气体通道的前提下，通过在冷却本体内设置冷却通道，可以对流经通气孔内的离子气体进行冷却降温，降低进入反应腔室的气体温度，使反应腔室内的温度不会一直升高，确保反应腔室内的气体反应速率，以去除相关目标气体；另外，降低反应腔室的温度还可以延长其使用寿命，节约成本。
天眼查资料显示，上海通嘉宏盛半导体设备有限公司，成立于2022年，位于上海市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，上海通嘉宏盛半导体设备有限公司专利信息10条，此外企业还拥有行政许可3个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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