北京
金融界2025年6月7日消息，国家知识产权局信息显示，北京华卓精科科技股份有限公司申请一项名为“晶圆对准装置和晶圆对准方法”的专利，公开号CN120109067A，申请日期为2025年01月。
专利摘要显示，本发明提供了一种晶圆对准装置和晶圆对准方法，涉及半导体制造技术领域，以解决晶圆对准稳定性差的问题。晶圆对准装置包括照明模块，用于提供近红外光线；第一分光镜，用于将照明模块提供的近红外光线反射并使得光线透射；显微物镜，其焦面配置为与第一对准标记所在表面重合；第一晶圆运动平台，用于驱动第二晶圆运动；焦平面传感器，用于接收第一、二对准标记的成像信息；成像补偿机构，用于将第一、二反射光线成像至焦平面传感器；第一光线为第一对准标记反射后依次通过显微物镜和第一分光镜的光线，第二光线为第二对准标记反射后依次通过显微物镜和第一分光镜的光线。
天眼查资料显示，北京华卓精科科技股份有限公司，成立于2012年，位于北京市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本25239万人民币。通过天眼查大数据分析，北京华卓精科科技股份有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目78次，财产线索方面有商标信息31条，专利信息627条，此外企业还拥有行政许可94个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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