北京
金融界2025年6月4日消息，国家知识产权局信息显示，安徽万维克林精密装备有限公司申请一项名为“一种全自动单晶圆清洗机及晶圆清洗方法”的专利，公开号CN120089619A，申请日期为2025年02月。
专利摘要显示，本发明公开了一种全自动单晶圆清洗机及晶圆清洗方法，涉及晶圆清洗技术领域，而本发明包括清洗机构，三个清洗机构的两侧均设有对废水进行收集的安装机构，安装机构的上表面设有对晶圆盒进行运输的运输机构，三个清洗机构内设有带动晶圆盒进行扭动的扭动机构，清洗机构内设有对过滤板进行清洗冲洗机构，本发明中通过设置扭动机构带动晶圆盒往复摆动，通过晶圆盒的往复摆动提高清洗槽内部药液的流动效率，从而提高晶圆和药液的接触效率，且安装框移动带动安装框底部的过滤板移动，通过过滤板对清洗槽内部的杂质进行过滤，避免清洗产生的杂质对下次清洗造成影响。
天眼查资料显示，安徽万维克林精密装备有限公司，成立于2020年，位于合肥市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本1456万人民币。通过天眼查大数据分析，安徽万维克林精密装备有限公司参与招投标项目7次，财产线索方面有商标信息8条，专利信息57条，此外企业还拥有行政许可4个。
本文源自：金融界
作者：情报员
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