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金融界2025年6月3日消息，国家知识产权局信息显示，杭州晶驰机电科技有限公司取得一项名为“立式单腔碳化硅外延系统”的专利，授权公告号CN222935578U，申请日期为2024年08月。
专利摘要显示，本实用新型涉及一种立式单腔碳化硅外延系统，它属于碳化硅外延领域。本实用新型包括主机柜、特气柜、加热柜、动力柜、冷却水柜、控制面板、冷却腔、送料腔、中转腔和反应腔，主机柜、特气柜、加热柜和动力柜从前往后布置，冷却水柜布置于主机柜左侧，主机柜内布置有反应腔、中转腔、冷却腔和送料腔，以中转腔为中心布置反应腔、冷却腔和送料腔组成核心腔室，主机柜正前方布置用于操作设备的控制面板。本实用新型系统设计合理，安全可靠，低硬件，低耗材成本，维护周期长，工艺质量好，满足使用需求。
本文源自：金融界
作者：情报员
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