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金融界2025年5月28日消息，国家知识产权局信息显示，FEI公司申请一项名为“用于样品制备的分段端点确定”的专利，公开号CN120043825A，申请日期为2024年11月。
专利摘要显示，公开了用于样品制备的分段端点确定技术。带电粒子显微镜系统可被配置为通过朝向图案中的样品的表面引导离子束来从该样品移除第一材料层。该图案对应于该样品的区段。在移除该第一层之后，该系统可从该区段移除第二材料层，使得该区段的至少一部分的厚度减小。移除该第二层可包括：朝向N个图案中该样品的该部分引导该离子束，该N个图案对应于该部分的N个区段；获得该样品的该表面的图像；以及基于该图像停止朝向该N个区段中的区段引导该离子束。
本文源自：金融界
作者：情报员
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