北京
金融界2025年5月27日消息，国家知识产权局信息显示，素珀电子科技（上海）有限公司申请一项名为“一种半导体晶圆动态定心装置”的专利，公开号CN120048780A，申请日期为2025年04月。
专利摘要显示，本发明公开了一种半导体晶圆动态定心装置，包括：旋转承托件，包括同轴设置的吸盘部和旋转轴，吸盘部上表面设有真空吸附区，吸盘部和所述旋转轴内开设有贯通的气体通道；动密封组件，包括密封筒体，其轴向中心位置具有导气部，沿导气部的内侧边缘向内渐扩延伸形成相互对称的第一密封部和第二密封部，第一密封部和第二密封部在自由状态下与旋转轴外壁径向过盈接触以形成双侧的动态密封界面；驱动对准组件，用于驱动旋转承托件的吸盘部与晶圆对心；二次密封件，用于二次密封导气部；其中，第一密封部、第二密封部和旋转轴的内壁围合形成环状气体缓冲腔。采用上述方案提高晶圆在对心的过程中的吸附稳定性避免掉片并降低噪音。
天眼查资料显示，素珀电子科技（上海）有限公司，成立于2013年，位于上海市，是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本447.7861万人民币。通过天眼查大数据分析，素珀电子科技（上海）有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目2次，财产线索方面有商标信息4条，专利信息19条。
本文源自：金融界
作者：情报员
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